Pengembangan Pengukuran Sheet Resistance Film Tipis Menggunakan Metode Four Point Probe

Authors

  • Darmawan Hidayat Departmen Teknik Elektro, FMIPA, Universitas Padjadjaran
  • Rochmat Zulianto Departmen Teknik Elektro, FMIPA, Universitas Padjadjaran
  • Bambang Mukti Wibawa Departmen Teknik Elektro, FMIPA, Universitas Padjadjaran
  • Bernard Y Tumbelaka Departmen Teknik Elektro, FMIPA, Universitas Padjadjaran

Keywords:

hambatan lembaran, four point prob, sumber arus konstan, mikrokontroler

Abstract

Alat ukur resistansi lembaran (sheet resistance) dengan metode four point prob (FPP) adalah salah satu jenis alat yang biasa digunakan untuk mengukur nilai resistansi suatu lapisan bahan semikonduktor (silicon, germanium, galium arsinede dan lain-lain) dan bahan logam. Cara kerja alat ukur sheet resistance menggunakan metode four point prob adalah dengan memberikan arus pada prob terluar dan mengukur tegangan pada dua prob terdalam. Makalah ini melaporkan pengembangan alat ukur sheet resistance dengan metode four point prob yang dapat digunakan untuk pengukuran lima kali pengulangan dengan keluaran arus konstan yang dapat diatur (maksimal 3,3 mA) dan hasil pengukuran dapat ditampilkan pada LCD. Hasil validasi yang dilakukan dengan mengukur nilai sheet resistance film indium tin oxide (ITO) standar yang sudah diketahui nilainya diperoleh bahwa nilai standar 8-12 Ω/sq terbaca 12 Ω/sq dan nilai standar 5 Ω/sq terbaca 7 Ω/sq.

Downloads

Download data is not yet available.

References

E. S. Machlin, Materials Science in Microelectronics:The Relationships between Thin Film Processing and Structure, Giro Press, Croton-on-Hudson, NY, 1995.

ASTM Standard D 257 Standard Method for DC Resistance of Conductance of Insulating Materials 1993 American Society of Testing Materials, Philadelphia, 1993, pp.103-119.

D. L. Smith, Thin Film Deposition: Principles and Practice,McGraw-Hill, Boston, MA, 1995.

S. A Halperin, The difference between surface resistance and surface resistivity, EE: Evaluation Engineering, 35 (6), 49-50 (1996).

L. J. Van der Pauw, A Method of Measuring Specific Resistivity and Hall Effect of Discs of Arbitrary Shape. Philips Research Reports 12.1 (1958): 1-9.

S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices, 2nd ed. John Wiley & Sons, 1981 p.30-35.

D. K. Schroder, Semiconductor material and device characterization, John Wiley & Sons, 1990 pp. 2-34.

W. R. Runyan, Semiconductor measurements and Instrumentation, (McGraw Hill, 1975) pp.65-93.

B. Arifianto, 2009 Training mikrokontrolet for beginner.http//www.max-tron.com diunduh 19 maret 2012.

Downloads

Published

25-01-2018

How to Cite

[1]
D. Hidayat, R. Zulianto, B. M. Wibawa, and B. Y. Tumbelaka, “Pengembangan Pengukuran Sheet Resistance Film Tipis Menggunakan Metode Four Point Probe”, SENTER, pp. 56–64, Jan. 2018.

Issue

Seminar Nasional Teknik Elektro UIN Sunan Gunung Djati Bandung (SENTER 2016)

Section

Articles